-
1 Abstand Maske-Wafer
сущ.микроэл. зазор между маской и подложкой (при бесконтактном переносе изображения), микрозазор между маской и подложкой (при экспонировании на микрозазоре) -
2 микрозазор между маской и подложкой
Универсальный русско-немецкий словарь > микрозазор между маской и подложкой